所屬行業(yè): 半導(dǎo)體工藝設(shè)備
產(chǎn)品內(nèi)容: 產(chǎn)品應(yīng)用:用于2-6英寸多晶硅、氮化硅、氧化硅薄膜生長工藝及其摻雜如psg或bpsg等
產(chǎn)品特點(diǎn):
◆主機(jī)為水平三管爐系統(tǒng)構(gòu)架,獨(dú)立完成不同的工藝或相同工藝
◆工業(yè)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng),對爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閘門等動作進(jìn)行自動控制
◆采用懸臂送片器,操作方便、無摩擦污染等
◆關(guān)鍵部件均采用進(jìn)口,確保設(shè)備的高可靠性
◆工藝管路采用進(jìn)口閥門管件組成-氣密性好、耐腐蝕、無污染(管路均采用ep級電拋光管),流量控制采用進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì)(mfc)
◆工作壓力閉環(huán)自動控制,提高工藝穩(wěn)定性和可靠性
◆控溫精度高,溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好
◆具有斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警等多種安全保護(hù)功能
◆高質(zhì)量的加熱爐體,確保恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長壽命
主要技術(shù)指標(biāo)
◆工作溫度:300~1000℃
◆適應(yīng)硅片尺寸:2~6英寸
◆裝片數(shù)量:30~100片/管
◆工藝管數(shù)量:1~3管(可選擇)
◆恒溫區(qū)長度: 760mm±1℃(熱壁式,可形成溫度梯度)
◆極限真空度: 8.0× 10 -1 pa(約6.0× 10 -3torr)
◆工作真空度: 10 ~ 1000pa可調(diào)
◆淀積膜均勻性:片內(nèi)≤±5%
◆控制系統(tǒng):整機(jī)控制系統(tǒng)采用工業(yè)控制計(jì)算機(jī)(windows 系統(tǒng)界面,操作方便簡潔)
◆氣源系統(tǒng):進(jìn)口閥管件、自動軌道焊接
◆典型工藝(僅供參考):
①氮化硅淀積:提供典型工藝氣路(具體根據(jù)用戶的工藝要求調(diào)整)
參考工藝類型: 3 nh3+4sih4 → si3n4+12h2 ……
②多晶硅淀積:提供典型工藝氣路(具體根據(jù)用戶的工藝要求調(diào)整)
參考工藝類型: sih4 → si+2h2 ……
③ 二氧化硅淀積:提供典型工藝氣路(具體根據(jù)用戶的工藝要求調(diào)整)
參考工藝類型: si(oc2h5)4 → sio2+ 4c2h4+2h2o ( dcs/n2o 等) ……
psg: teos-o2 體系, + 磷烷(亦可磷酸三甲酯、三氯氧磷)
bpsg: 在 psg 中加入 b2h6 (硼烷)或硼酸三甲酯
---- 薄膜淀積工藝(相應(yīng)的摻雜 - 僅供參考,具體根據(jù)客戶的情況作相應(yīng)的調(diào)整
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