國內(nèi)某 OLED 鍍膜機廠家配置伯東美國 HVA 真空閥門 11000 系列,尺寸以 4”, 6”, 8”閥門口徑為主的標準不銹鋼氣動高真空閘閥,
HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列標準技術規(guī)格:
閥門材質: |
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- 閥門主體 |
304 不銹鋼 |
- 焊接波紋管軸封 |
AM - 350 |
閥門密封方式 |
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- 高真空 |
氟橡膠 |
- 非常高真空 |
銅墊圈 / 氟橡膠 |
真空: |
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- 壓力范圍 |
高真空 1x10-9 mbar, 非常高真空 1x10-10 mbar |
- 漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
- 差壓關閉 |
1 bar ( 任意位置 ) |
- 開啟前較大壓力 |
≤ 30 mbar |
烘烤溫度(不含電磁閥): |
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- 彈性體密封閥蓋 |
150°C |
- 金屬密封閥蓋 |
-開啟溫度:200°C -關閉值:150°C |
- 驅動方式 |
手動 60 °c, 氣動 60 °c |
機制 |
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手動: |
手搖曲柄 |
電磁閥供電電壓 |
120 VAC 50 /60 Hz |
電磁閥可選電壓 |
24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
電磁閥位置指示器,較大 |
115 VAC |
氣動送風: |
80 psig |
使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實際使用情況決定) |
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公稱通徑: DN 16 - 800 mm |
下圖是某 OLED 鍍膜機廠家配置上海伯東美國 HVA 高真空閥門
OLED 鍍膜機主要面向有機半導體照明客戶, 需要鍍膜機性能更穩(wěn)定, 器件效率更高, 性價比高,
對于生產(chǎn) OLED 鍍膜機的客戶, 為了節(jié)省抽空時間和防止基片的污染, 會選擇在 LOADLOCK 與主腔間進行快速傳樣, 由于兩腔室工作的真空度要求不同, 會在腔室之間增加高真空閥門來隔離系統(tǒng).
伯東美國 HVA 真空閥門已廣泛應用于 OLED 鍍膜機
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