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HVA 真空閥門 11000 用在 OLED 鍍膜機

發(fā)布日期:2023-05-12 來源:網(wǎng)絡 作者:匿名

國內(nèi)某 OLED 鍍膜機廠家配置伯東美國 HVA 真空閥門 11000 系列,尺寸以 4”, 6”, 8”閥門口徑為主的標準不銹鋼氣動高真空閘閥,
 

HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列標準技術規(guī)格

 閥門材質:

 - 閥門主體

 304 不銹鋼

 - 焊接波紋管軸封

 AM - 350

 閥門密封方式

 - 高真空

 氟橡膠

 - 非常高真空

 銅墊圈 / 氟橡膠

 真空:

 - 壓力范圍

 高真空 1x10-9 mbar, 非常高真空 1x10-10 mbar

 - 漏率

 < 2x10-9  mbar l/S

 - 差壓關閉

 1 bar ( 任意位置 )

 - 開啟前較大壓力

 ≤ 30 mbar

 烘烤溫度(不含電磁閥):

 - 彈性體密封閥蓋

 150°C

 - 金屬密封閥蓋

-開啟溫度:200°C

-關閉值:150°C

 - 驅動方式

 手動 60 °c, 氣動 60 °c

機制

手動:

手搖曲柄

電磁閥供電電壓

 120 VAC 50 /60 Hz

電磁閥可選電壓

 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
 
 12, 24 VDC

 電磁閥位置指示器,較大

 115 VAC
 
 28 VDC, 20 mA

氣動送風:

80 psig

 使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實際使用情況決定)

 公稱通徑: DN 16 - 800 mm

 

下圖是某 OLED 鍍膜機廠家配置上海伯東美國 HVA 真空閥門

<span style=background-color:red>超高</span>真空閘閥

 

OLED 鍍膜機主要面向有機半導體照明客戶需要鍍膜機性能更穩(wěn)定器件效率更高性價比高,

對于生產(chǎn) OLED 鍍膜機的客戶為了節(jié)省抽空時間和防止基片的污染會選擇在 LOADLOCK 與主腔間進行快速傳樣由于兩腔室工作的真空度要求不同會在腔室之間增加高真空閥門來隔離系統(tǒng).

 

伯東美國 HVA 真空閥門已廣泛應用于 OLED 鍍膜機
 

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