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HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列

價(jià)格

面議

  • 單價(jià):電議
  • 最小起訂量: 1個(gè)
  • 所在地:上海 上海
  • 供貨總量: 1000個(gè)
  • 發(fā)布時(shí)間:2023-12-20

聯(lián)系方式

產(chǎn)品描述

HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列
上海伯東美國(guó) HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列是專為較苛刻的真空環(huán)境而設(shè)計(jì). HVA 真空閘閥 71000 系列由堅(jiān)固的不繡鋼剛坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 條件下加工成形, 真空閘閥兩側(cè)密封的門上雙密封設(shè)計(jì), 閥門內(nèi)部幾乎沒(méi)有移動(dòng)部件, 較大限度減少粒子的生成. 免維護(hù)設(shè)計(jì)(不繡鋼波紋管與工藝過(guò)程分離). 適用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的嚴(yán)酷的應(yīng)用. 

HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列特性:
易于系統(tǒng)集成, 幾乎滿足所有應(yīng)用
不繡鋼波紋管與工藝過(guò)程分離 - 免維護(hù)
真空閘閥堅(jiān)固的雙重密封設(shè)計(jì)和低粒子
使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數(shù)
高壓和機(jī)械加工的不銹鋼閥體
真空閘閥口徑 DN 50-200 mm
手動(dòng)或氣動(dòng)控制
標(biāo)準(zhǔn)法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
真空閘閥較大烘烤溫度 250°C
全部美國(guó)設(shè)計(jì), 制造, 組裝, ****進(jìn)口

HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列參數(shù):

 閥門材質(zhì):

 - 閥門主體

 304 不銹鋼

 - 焊接波紋管軸封

 AM - 350

 閥門密封方式

 - 高真空

 氟橡膠

 真空:

 - 壓力范圍

 高真空 1x10-9 mbar

 - 漏率

 < 2x10-9  mbar l/S

 - 差壓關(guān)閉

 2 bar (任意位置)

 - 開(kāi)啟前較大壓力

 ≤ 1 bar

 烘烤溫度(不含電磁閥):

 - 佛橡膠密封

 150 °c, 可選配置較大 250 °c

 - 驅(qū)動(dòng)方式

 手動(dòng) 60 °c, 氣動(dòng) 60 °c

 - 氣體

 80 psig (5.5 bar)

 - 電磁

 4.0 Watts

 - 供電

 120 VAC 50 /60 Hz

 - 可選電壓

 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
 或 12, 24 VDC

 - 位置指示器,較大

 115 VAC
 或 28 VDC, 20 mA

 使用壽命: > 250,000  啟閉次數(shù) (具體視實(shí)際使用情況決定)

 公稱通徑: DN 50 - 200 mm


HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列部件圖:

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