CCQ超真空氣動(dòng)插板閥 Pneumatic Ultra-high Vacuum Gate Valve
CCQ型氣動(dòng)超高真空插板閥是通過電磁換向閥改變氣路方向,控制執(zhí)行氣缸驅(qū)動(dòng)閥板作上下運(yùn)動(dòng),達(dá)到閥門的開啟或關(guān)閉的目的。CCQ型氣動(dòng)超
適用范圍: 105~1.3x10-7Pa(DN≤200);105~6.7x10-7Pa(DN≥250)
閥門漏率: ≤6.7x10-8 Pa.L/S(DN≤200);≤1.3x10-7 Pa.L/S((DN≥250))
適用溫度: -30~+150℃
開啟壓差: ≤2.7x103 Pa.
氣源壓力: 0.4-0.6MPa
安裝狀態(tài):任意
電源電壓:
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