※產(chǎn)品用途:
CNT真空管式氣相沉積爐主要為應(yīng)用在半導(dǎo)體,石墨烯、納米材料、碳纖維、碳化硅、鍍膜等新材料新工藝領(lǐng)域。
※產(chǎn)品結(jié)構(gòu):
1、可通入多種氣體,配100ml混氣罐;
2、采用三溫區(qū)獨(dú)立控溫,可實(shí)現(xiàn)不同溫度段同時(shí)工作;
3爐體采用不銹鋼密封法蘭(鉸鏈結(jié)構(gòu)),耐高溫、耐腐蝕;
4、保護(hù)管采用高純石英管或剛玉管 ,氣管采用卡套或VCR接口,安裝方便;
5、爐體采用雙層空氣隔熱技術(shù),配有自動(dòng)冷卻風(fēng)扇,降低爐體外殼溫度;
6、控制系統(tǒng)采用進(jìn)口40段程序控溫,控溫精度±1℃,移相觸發(fā)、可控硅控制;
7、真空系統(tǒng)6.67pa(機(jī)械泵)或6.67pa×10-3pa(擴(kuò)散泵機(jī)組)
8、選配無(wú)紙記錄儀,記錄、存儲(chǔ)、顯示當(dāng)前或歷史溫度曲線,也可通過(guò)U盤轉(zhuǎn)存入電腦。
9、選配西尼特智能溫控軟件,通過(guò)電腦進(jìn)行全程監(jiān)控和操作;
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