產(chǎn)品描述
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本產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測量與控制。
S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術(shù)指標(biāo)
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編號 |
項目 |
S48 300/HMT |
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1 |
流量規(guī)格 |
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
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2 |
調(diào)節(jié)閥類型 |
電磁調(diào)節(jié)閥 |
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3 |
調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) |
常閉 |
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4 |
安裝角度 |
任意 |
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5 |
流量控制范圍 |
2%-100%F.S. |
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6 |
流量測量范圍 |
0-100%F.S. |
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7 |
響應(yīng)時間 |
≤ 1 sec |
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8 |
工作環(huán)境溫度 |
5-50℃ |
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9 |
精度保證溫度 |
15-35℃ |
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10 |
精度 |
±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.) |
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11 |
線性精度 |
±0.5%F.S. |
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12 |
重復(fù)性 |
±0.2%F.S. |
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13 |
工作壓差 |
-5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) |
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14 |
耐壓 |
3MPa(G) |
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15 |
泄漏率 |
＜1×10-8Pa·m3/s(He) |
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16 |
接觸氣體材料 |
316L，Viton® 氟橡膠，PTFE |
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17 |
管路接頭 |
Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ |
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18 |
供電電源 |
±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA |
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19 |
設(shè)定信號 |
數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，輸入阻抗＞10kΩ |
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20 |
流量輸出信號 |
數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，負(fù)載能力≤3mA |
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21 |
通訊接口 |
數(shù)字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協(xié)議從機(jī)，設(shè)備號可選范圍0-15 |
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22 |
重量(kg) |
0.9 |
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