SK-G03123K | SK-G04123K | SK-G05123K | SK-G06123K | SK-G08123K | SK-G10123K | |
進(jìn)口程序 | SK-G03125K | SK-G04125K | SK-G05125K | SK-G06125K | SK-G08125K | SK-G10125K |
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溫度 | 1200℃ | 1200℃ | ||||
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 210mm | 420mm | ||||
恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 70mm | 200mm | ||||
加熱元件 | 高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲OCr27Al7Mo2 | 高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲OCr27Al7Mo2 | ||||
空爐升溫時(shí)間 | <15min | <15min | ||||
額定功率 | 1.2Kw | 2.5Kw | ||||
工作電壓 | 220V | 220V | ||||
溫度控制 | 國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控制;進(jìn)口程序控溫系統(tǒng)可編輯40段程序控制; | |||||
控溫精度 | ±1℃ | ±1℃ | ||||
石英管尺寸(mm) |
Φ30/24x800 | Φ40/34x800 | Φ50/43x1000 | Φ60/53x1000 | Φ80/72x1000 | Φ100/92x1000 |
爐管材料 | 石英玻璃管 | 石英玻璃管 | ||||
爐管工作溫度 |
<1200℃ | <1200℃ | ||||
配置爐管時(shí)升溫速度 | 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1200℃≤2℃/min | |||||
真空/氣氛總成配套 (可選) | 真空控制系統(tǒng): 中真空控制系統(tǒng)、高真空控制系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng); | |||||
氣路控制系統(tǒng):氣體浮子流量控制系統(tǒng)、氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng); | ||||||
計(jì)算機(jī)集散控制系統(tǒng); CVD電爐系統(tǒng); | ||||||
外形尺寸(深x寬x高) | 290x400x479mm | 400x614x623mm | ||||
重量 | 35Kg | 75Kg | ||||
標(biāo)準(zhǔn)配置 | 氣路總成一套(含真空壓力表),石英管一支,石英堵塞兩支/舟一支,鉤子一把,高溫手套一副 |
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